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江苏最美科技工作者傅志伟:争口气,做出中国自己的光刻产品
2021-10-27 08:29:00  来源:新华日报  

“我始终坚信未来全球半导体产业发展的核心动力在中国,科技创新的源泉也会在中国。”10月21日,在金龙湖创新谷,徐州博康信息化学品有限公司董事长傅志伟鼓励团队成员。

博康集团成立于2007年,是一家专业从事集成电路领域材料和设备研发制造的国家高新技术企业。集成电路在军事国防、航空航天、尖端科技以及国民经济各个领域发挥着无比重要的作用。而制成集成电路需要用到的光刻工艺,对于中国来说,是一项“卡脖子”技术。2004年,傅志伟决定研究这项技术,为中国争口气。

当时,傅志伟在一家医药科研公司工作,主攻医药行业中有机合成中间体的研发。工作中,一个来自日本的高频化学结构引起他的注意。“类似的化学结构在中国的应用领域只有一款感冒药,我查了半年后发现,这是一种高附加值电子化学品,名叫光刻胶。”傅志伟说,“光刻技术被称为集成电路‘皇冠上的明珠’,光刻胶又是光刻技术的核心材料。”

傅志伟意识到,如果掌握了光刻相关技术,不仅能填补国内相关领域的空白,更能打破发达国家的技术垄断,补齐中国在集成电路产业中的短板。2004年,傅志伟决定成立企业,研发光刻胶。

“创业初期我们非常艰苦。”傅志伟的创业伙伴潘新刚说:“资金紧张,我们把实验室建在上海的染料厂里,通风处理用排风扇,实验台用白瓷砖贴。日本团队来考察,看到实验室的外观,以为我们是骗子。”

然而,亲眼看到博康公司生产的光刻胶单体材料时,日本团队肯定了他们的成果。“当时日本光刻行业在全球领先,他们认可了,说明我们的路走对了。”傅志伟说。

在业界崭露头角后,傅志伟立志将成果产业化,真正做大做强。作为土生土长的邳州人,傅志伟决意将生产基地设在家乡。2010年3月,徐州博康信息化学品有限公司在邳州经济开发区成立。

在邳州,博康公司实现了193nm光刻胶单体规模化生产。“193nm是我们行业里的一个光源的技术指标参数,这个标准的光刻胶之前被国外垄断。从2008年到2012年,傅志伟带领我们的团队,历经8年攻克了金属离子和纯化工艺等关键难题,成功突破了世界最先进193nm光刻胶单体研发和规模化生产,填补了我国在这一领域的空白。” 徐州博康信息化学品有限公司产品中心总监邵严亮说。

2012年开始,傅志伟和团队把目光投向更高处。“那年我们受邀去日本参与一项光刻产品的研发项目,博康和一家美国公司、一家日本公司进行三方合作。博康提供原材料,日本公司提供设备做下游产品,最后产品供美国公司使用。一次三方会议中,美国人直接来了一句‘请中国人出去休息’,因为他们要进行下一阶段的技术讨论。”傅志伟说:“我作为中国人在行业的国际性会议中感受到了歧视。我们决定不再局限于光刻胶单体材料的生产,开始做光刻胶成品和光刻设备的研发。”

目前,傅志伟带领团队先后完成了半导体纳米级制版光刻设备、封装及PCB激光直接成像设备两个国家科技重大专项项目,建立徐州集成电路产业园——金龙湖创新谷,不断实现技术上的创新、突破。

近日,省委宣传部授予傅志伟江苏“最美科技工作者”称号。面对荣誉,傅志伟说:“科技工作者做科研的目的,不是为了满足自身的精神需求,而是要把科技转化为竞争力,为民族复兴、为祖国更加强盛作出自己的贡献!”

责编:曾雪琦
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